| 2.FineSolution-MDRの特長 |
| ●パラメータ組ネットワーク図による検査データ間の依存関係を把握 |
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多数の検査データ項目（目的変数、説明変数群）間の依存関係は、人の頭脳で容易に把握できません。本システムが提供するパラメータ組ネットワーク図では、パラメータ間の繋がりを右図のようなネットワーク図で表すことで、依存関係を容易に把握できます。
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| ●異常分離指標（コサイン測度）による新たな不良原因分析の提供 |
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相関係数では表れない正常群と異常群の分離度を数値化し、その指標値上位を容易に抜き出すことで、これまで把握できなかった異常パラメータの抽出を可能としました。
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| ●さまざまな種別データを一括で高速に抽出 |
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履歴情報、製品検査データ、装置処理データなどロットに関わるデータを一括で抽出でき、抽出後それらを関連付けた解析が可能となります。
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| ●多彩なグラフ、グラフ一覧でマクロ視点の現象把握 |
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トレンドチャート、ヒストグラム、相関図、箱ひげ図などのグラフ、及び、それらのグラフを検査データ項目毎に一覧で表示します。また、装置層別やチャンバ層別を全工程並べて表示することもできます。
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| ●レポート掲示板にて重点監視項目推移を定期的に把握 |
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重点監視対象となった項目のトレンドチャートを定期ジョブ登録すると電子レポート掲示板に定期的に最新情報がアップされます。
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| ●品質データベース構築からサポートできます |
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品質データベースを構築されていない場合でも、データ収集からデータベース構築までサポートいたします。分散され、形式違いの検査データを管理できていないケースでもご相談ください。
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